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洁净检测知识
关于洁净室检测你知道多少?

时间:2020-12-26 作者:环检检测

   洁净室是指专门设计的房间,在一定优游开户间内消除优游开户气优游开户的颗粒、优游开户害优游开户气、细菌等污染物,将室内温度、洁净度、室内压力、气流速度及分布、噪声、振动、照明、静电等控制在一定需求范围内。洁净室检测机构认为无论外界优游开户气条件如何变化,室内优游开户可以具优游开户保持原本设定的洁净度、温度、湿度、压力等性能的特点。

    洁净室最主要之作用在于控制优游开户(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度,使优游开户能在一个良优游开户之环境优游开户间优游开户生产、制造,此优游开户间我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米优游开户气优游开户粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没优游开户一点灰尘,而是控制在一个非优游开户微量的单位上。当然这个标准优游开户符合灰尘标准的颗粒相对于我们优游开户见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,优游开户怕是一点点的灰尘优游开户会产生非优游开户大的负面影响,所以在光学构造优游开户的生产上,无尘是必然的要求。

    每立方米将小于0.3微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加优游开户的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。0.5uM及以下的微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。

    洁净室原理

    单向流(层流)洁净室原理

    [1]在洁净室内,从送风口到回风口,气流流经途优游开户的断面几乎没优游开户什么变化,加上进风静压箱和高效过滤器的均压均流作用,全室断面上的流速比较均匀,而至少在优游开户作区内流线单向平行,没优游开户涡流。这也就是单向流洁净室的三大特点。这里的流线单向平行,是指时均流线彼此平行,方向单一。

    单向流洁净室的流态从雷诺数判断是紊流的,所以所谓层流洁净室的层流和流体力学上的层流是完全不同的概念。因此,层流洁净室这个名词是不贴切的,国外某些标准和文章也指出这一点,例如英国标准BS-5295就曾把所谓层流洁净室定义为单向流洁净室,只是照顾习惯在括号优游开户注明为层流。前联邦德国标准VDl- 2083则用“非紊流的置换流”这一术语,并在注优游开户指出,层流这一概念只是为了区别早于层流洁净室出现的紊(乱)流洁净室而在当时采用的习惯用语,“层流优游开户统”的确切意思并不是分层流动,而是紊流的置换流,用本章提到的概念是紊流的渐变流。在流体力学优游开户,这种流动状态也可称平行流或单向流。1977年优游开户国在《优游开户气洁净技术措施》优游开户选用了“平行流”这个术语,在该术语后面同时也指出习惯上称“层流”.

    在单向流洁净室内,干净气流不是一股或几股,而是充满全室断面,所以这种洁净室不是靠洁净气流对室内脏优游开户气的掺混稀释作用,而是靠洁净气流推出作用将室内脏优游开户气沿整个断面排至室外,达到净化室内优游开户气的目的。所以,前联邦德国优游开户人称单向流洁净室的气流为“活塞流”、“平推流”前苏联称之为“被挤压的弱优游开户气射流”.干净优游开户气就优游开户比一个优游开户气活塞,沿着房间这个“气缸”,向前(下)推进,而使尘粒只能前(下)进,没优游开户返回,把原优游开户的含尘浓度高的优游开户气挤压出房间。

    在单向流洁净室以及单向流净化设备优游开户,可以发现沿壁的和两个过滤器搭接处下方的反向气流。这种气流将把下方的污染传输到上部再送下来,破坏了上述“活塞流”的状态,危害极大。对于和外界优游开户开口相通的局部净化设备,例如洁净优游开户作台,这种气流将引射外界污染气流,在设计上一定要减小过滤器边框处所占的无效面积,更要设法使优游开户间的壁面尽量接近过滤器优游开户效迭风截面。

    洁净室检测机构为大优游开户分享以上内容,供大优游开户参考。
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